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無塵車間標準等級的劃分

瀏覽:時間:2021-08-06 10:56:56

摘要:無塵車間標準等級的劃分

無塵車間標準等級的劃分!

先是無塵車間標準等級定義如下:Class X (at Y μm )

其中X是無塵車間的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。

以下是幾個例子:

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。

第二個是規定無塵車間的狀態,例如:

Class X (at Y μm ),At-rest

第三個是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵車間都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:

Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built

這樣做的目的是確保無塵車間在Operational狀態時,依然有足夠的微??刂颇芰?。


以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義,和ISO-14644的等級定義。

Fed-Std-209E潔凈度定義

ISO-14644潔凈度定義

比較以上兩表我們可看出:

1、209E的公制和英制兩套標準,雖然有公式做互換,但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表,徒然造成混淆;

2、在兩表中0.5mm幾乎出現在每一個等級定義中,表示粒徑0.5mm的粒子非常具有代表性;

3、在潔凈度的分類上,不管是在高潔凈度,或是低潔凈度,ISO-14644的范圍比209E都來的廣,因此具有未來性。

無塵車間等級標準劃分

潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

空氣潔凈度分級標準:ISO14644-1(國際標準)

空氣潔凈度分級標準:GB/T16292-1996(中國標準)

美國聯邦標準(USA Federal Standard)

空氣中微粒的潔凈等級對照空氣微粒潔凈等級 (每立方米,每立方英尺)微粒的最大濃度限值

中國藥品生產潔凈室(區)的空氣潔凈度標準

國家藥品監督管理局1999年8月1日發布實施

基于≥0.5um粒徑的各國潔凈度等級近似對照表

無塵室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級

國家標準GB50073-2001



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